2022
09-28
09-28
售价25亿的“电老虎” 下代EUV光刻机功耗飙到200万瓦 NEW
随着半导体工艺进入7nm以内,EUV光刻机是必不可少的关键设备,全球只有ASML公司能生产,现在NA 0.33孔径的EUV光刻机售价高达1.5亿美元,约合10亿一台,不过下一代会更贵。光刻机制造芯片的关键指标就是光刻分辨率,其中镜头的NA数值孔径越大越好,现在NA 0.33孔径的EUV光刻机能够量产3nm、2nm工艺,再往后就需要NA 0.55孔径的下一代光刻机,也就是High NA EUV,制造2nm以下的工艺必需。High NA EUV预计在明年开始出样机给客户,这一次I...
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