2020
10-30
10-30
用上EUV光刻机 SK海力士宣布明年量产第四代内存 NEW
ASML公司的EUV光刻机全球独一份,现在主要是用在7nm及以下的逻辑工艺上,台积电、三星用它生产CPU、GPU等芯片。马上内存芯片也要跟进了,SK海力士宣布明年底量产EUV工艺内存。据报道,SK海力士总裁李石熙日前表示,该公司计划将于明年下半年开始在利川厂区M16采用EUV光刻机生产第四代(1a nm)DRAM产品。李石熙表示M16工厂将于今年底建成,明年上半年开始引入制造设备,目前实验室正在进行准备工作,预计明年开始量产。对内存来说,它跟CPU逻辑工艺一样面临着需要微缩的...
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