串列型高能氢离子

2026
01-18

地位堪比光刻机！我国首台串列型高能氢离子注入机成功出束 NEW

地位堪比光刻机！我国首台串列型高能氢离子注入机成功出束快科技1月18日消息，据“中核集团”公众号发文，由中核集团中国原子能科学研究院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）已成功实现出束，其核心指标达到国际先进水平。这标志着我国全面掌握了该型设备的全链路研发技术，攻克了功率半导体制造链上的关键环节，为推进高端制造装备自主可控、保障产业链安全奠定了坚实基础。离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称为芯片制造“四大核心装备”，是半导体制造中不可或缺的关键设备。长期以来，我国高能氢离子注入机完全依赖进口，由... Read More >
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